NEW MEGA-ONE LA は、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。ダイレクトダイヤフラム構造により、高い気密性、長寿命、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースレスを実現しています。
主な仕様
材質:ボディ SUS316L、ダイヤフラム ニッケル‐コバルト合金
クリーン度:完全禁油(特級禁油)、接ガス部 EP 処理(標準)、UP 処理(オプション)
使用圧力:最大 1MPa
温度範囲:-10℃ ~ 80℃
接続形式:UJR(メタルガスケット式、6.35mm オスタイプ)
作動エア圧:0.4~0.6MPa
動作形式:ノーマルクローズ(NC)
耐久性:400 万回以上(φ6.35mm サイズ)
内容積:1.48 cc(UJR 6.35 MALE TYPE)
用途例
半導体・液晶製造装置のガスライン制御
太陽電池、LED 製造プロセス
医薬品、食品関連の高純度流体ライン
FUJIKIN富士金FCST1005MLC-4J2-F500-HCL气体流量计青岛平山技研刘156-21198049