流量量程0–500 SCCM(N₂换算,HCL 专用校准)
精度±1.0% F.S.(满量程,15–35℃)
重复精度±0.2% F.S.
响应时间≤1 秒(2%–100% F.S.)
工作压力最大 400 kPaG(4 bar)
工作温度5–50℃
供电DC 24V(±10%)
信号接口模拟 0–5VDC 输入 / 输出;可选 RS-485 通讯
接液材质SUS316L EP(电解抛光)、镍钴合金 diaphragm
密封方式金属密封(外漏率≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s He)+ 耐蚀 O 型圈
接口1/4" UJR 金属接头(公头)
重量约 1.5 kg
产品特点
高耐腐蚀性:全金属流路 + EP 处理,适配 HCL、SiH₄、NH₃等强腐蚀 / 有毒气体,无油、无颗粒污染。
高精度与快响应:热式传感技术,精度 ±1% F.S.,响应≤1 秒,满足半导体工艺严苛控制要求。
低泄漏与长寿命:金属密封结构,极低泄漏率,适配超高纯气体系统,使用寿命长。
FUJIKIN富士金带螺母手动针阀US-127PB-R青岛平山技研刘156-21198049