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FUJIKIN富士金FCST1005MLC-4J2-F500-HCL气体流量计青岛平山技研刘156-21198049

FUJIKIN富士金FCST1005MLC-4J2-F500-HCL气体流量计青岛平山技研刘156-21198049

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¥32230.00 ¥13303.00


简介

流量量程0–500 SCCM(N₂换算,HCL 专用校准)精度1.0% F.S.(满量程,15–35℃)重复精度0.2% F.S.响应时间≤1 秒(2%–100% F.S.)工作压力最大 400 kPaG(4 bar)工作温度5–50℃供电DC 24V(10%)信号接口模拟 0–5VDC 输入 / 输出;可选 RS-485 通讯接液材质SUS316…

分类: 五金工具类,
产品详情

流量量程0–500 SCCM(N₂换算,HCL 专用校准)

精度±1.0% F.S.(满量程,15–35℃)

重复精度±0.2% F.S.

响应时间≤1 秒(2%–100% F.S.)

工作压力最大 400 kPaG(4 bar)

工作温度5–50℃

供电DC 24V(±10%)

信号接口模拟 0–5VDC 输入 / 输出;可选 RS-485 通讯

接液材质SUS316L EP(电解抛光)、镍钴合金 diaphragm

密封方式金属密封(外漏率≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s He)+ 耐蚀 O 型圈

接口1/4" UJR 金属接头(公头)

重量约 1.5 kg

产品特点

高耐腐蚀性:全金属流路 + EP 处理,适配 HCL、SiH₄、NH₃等强腐蚀 / 有毒气体,无油、无颗粒污染。

高精度与快响应:热式传感技术,精度 ±1% F.S.,响应≤1 秒,满足半导体工艺严苛控制要求。

低泄漏与长寿命:金属密封结构,极低泄漏率,适配超高纯气体系统,使用寿命长。


日本Fujikin富士金1/4气动隔膜阀NFPR-ND-71-6.35-2青岛平山技研刘156-21198049
¥3210.00
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FUJIKIN富士金带螺母手动针阀US-127PB-R青岛平山技研刘156-21198049
¥1240.00
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