01.产品特点
· 小型·轻量
· 可以检查非常微量的气体泄漏
· 适合氢气相关设备的安全防护
· 搭载的泵有自动停止功能
· 搭载[自动气体排气模式]功能
· 保护等级约为IP22(JIS C 0920)※安装皮套时
02.产品用途
· 半导体工厂/石油化学工厂等
· 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
03.产品参数
型号 XP-703DⅢ
检测对象气体 半导体材料气体(砷烷、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气)
检测原理 热线型半导体式
采样方式 自动吸引式
砷烷 磷化氢 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH₃ PH₃ B₂H₆ SiH₄ H₂
可检测泄漏量
[Pa·m³/s] 2.53x10⁻⁷ 1.52x10⁻⁷ 1.01x10⁻⁷ 2.53x10⁻⁷ 5.07x10⁻⁷
可检测浓度
[μmol/mol] 0.5 0.3 0.2 0.5 0.1
反应时间 10秒以内(探测的气体为可检测浓度的3倍时,灵敏度设定为[4])
报警方式 发出断断续续的声音及报警灯闪烁
电源 5号碱性干电池(LR6)2节
连续使用时间※1 约12小时(5号碱性干电池)[在常温·常湿条件下]
保护等级※2 IP22 相当※3
使用压力范围 大气压(800~1100hpa)
使用温湿度范围 0C~40℃、85%RH以下(无结露现象)
外形尺寸 W38xH130xD32mm(突出部分除外)
重量 约190g(包含电池、皮套)
日本ULVAC爱发科油雾过滤器TMX-1青岛平山技研刘156-21198049