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日本COSMOS新宇宙半导体材料气体检测XP-703DⅢ青岛平山技研刘156-21198049

日本COSMOS新宇宙半导体材料气体检测XP-703DⅢ青岛平山技研刘156-21198049

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¥7333.00 ¥3440.00


简介

01.产品特点 小型轻量 可以检查非常微量的气体泄漏 适合氢气相关设备的安全防护 搭载的泵有自动停止功能 搭载[自动气体排气模式]功能 保护等级约为IP22(JIS C 0920)※安装皮套时02.产品用途 半导体工厂/石油化学工厂等 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测…

分类: 仪器仪表类,
产品详情

01.产品特点

· 小型·轻量

· 可以检查非常微量的气体泄漏

· 适合氢气相关设备的安全防护

· 搭载的泵有自动停止功能

· 搭载[自动气体排气模式]功能

· 保护等级约为IP22(JIS C 0920)※安装皮套时

02.产品用途

· 半导体工厂/石油化学工厂等

· 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测

03.产品参数

型号 XP-703DⅢ

检测对象气体 半导体材料气体(砷烷、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气)

检测原理 热线型半导体式

采样方式 自动吸引式

砷烷 磷化氢 乙硼烷 硅烷 氢气

AsH₃ PH₃ B₂H₆ SiH₄ H₂

可检测泄漏量
[Pa·m³/s] 2.53x10⁻⁷ 1.52x10⁻⁷ 1.01x10⁻⁷ 2.53x10⁻⁷ 5.07x10⁻⁷

可检测浓度
[μmol/mol] 0.5 0.3 0.2 0.5 0.1

反应时间 10秒以内(探测的气体为可检测浓度的3倍时,灵敏度设定为[4])

报警方式 发出断断续续的声音及报警灯闪烁

电源 5号碱性干电池(LR6)2节

连续使用时间※1 约12小时(5号碱性干电池)[在常温·常湿条件下]

保护等级※2 IP22 相当※3

使用压力范围 大气压(800~1100hpa)

使用温湿度范围 0C~40℃、85%RH以下(无结露现象)

外形尺寸 W38xH130xD32mm(突出部分除外)

重量 约190g(包含电池、皮套)


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